ヒーターコイルはもちろんですが、ランプまでの完成品も受託製造いたします。
RTP用ヒーラーランプは、ヒーターの前に高融点金属で作られたシャッターを配置し、そのシャッターを開閉することで、瞬時にウエハを加熱するために利用されるヒーターランプです。
このランプは使用環境が過酷な為、材料の選定、熱処理条件の適正化などもお任せください。

<特徴>
ハロゲンランプを用い、瞬時加熱。
ウェハ全体の均一な加熱が可能。
<用途>
半導体プロセス加熱、RTA/RTP加熱など