semiconductor 半導体関連

電子機器や液晶、半導体などの工業分野でタングステンやモリブデンが持つさまざまな性質は、欠かせないものとなっています。半導体を製造する装置、陰極フィラメントやX線管用陽極などとして利用されています。
半導体関連

半導体製造装置

タングステンやモリブデンは耐熱性、耐腐食性に優れており、半導体製造プロセスで欠かせません。エッヂング装置やスパッタリング用ターゲット、露光光源の部品として使用されています。
半導体製造装置

イオン注入器

高エネルギーのイオンを発生させるために、加速電極としてタングステンが使用されることがあります。タングステンはイオン注入器内部で発生するプラズマに対しても化学的に安定であるため、長期間の使用にも耐えることができます。
イオン注入器

この分野で使われている岳石製品の一例

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