この分野で使われている岳石製品の一例

• 

  RTP（ラピッドサーマルプロセス）用ヒーター

  ヒーターコイルはもちろんですが、ランプまでの完成品も受託製造いたします。
  RTP用ヒーラーランプは、ヒーターの前に高融点金属で作られたシャッターを配置し、そのシャッターを開閉することで、瞬時にウエハを加熱するために利用されるヒーターランプです。
  このランプは使用環境が過酷な為、材料の選定、熱処理条件の適正化などもお任せください。

  <特徴>
  ハロゲンランプを用い、瞬時加熱。
  ウェハ全体の均一な加熱が可能。
  <用途>
  半導体プロセス加熱、RTA/RTP加熱など

• 

  ハロゲンヒーター

  ヒーターコイルはもちろんですが、ランプ完成品までも製造受託いたします。
  タングステン発熱体を用いた近赤外線にピーク波長を有する工業用・産業用「近赤外線ランプヒーター」です。変則ピッチによる発熱箇所のコントロールも可能です。
  写真２枚目はU字型が特徴のハロゲンランプ。U字先端のは排気口は、位置出しの為に利用。

  <特徴>
  クリーン（真空中での加熱も可）、短時間起動、高効率
  <用途>
  塗装・インキの乾燥、食品保温、半導体製造プロセス（シリコンウェハー加熱、表面処理）、RTP加熱、樹脂成形、ソーターパネル製造、ガラス成型、暖房器具など

• 

  アルミ　ターンテーブル

  露光装置のガラス基盤を作るためのアルミターンテーブルをイメージした製品。
  盤を作る為の部品の為、平坦度も重要。
  また、やわらかくバリのでやすいアルミですが、
  バリのない仕上がりが特徴です。

• 

  石英ガラス　長角板

  石英ガラスは二酸化ケイ素（SiO2）を主成分としており、通常のガラスよりも高い純度で製造されたガラスです。耐熱性・耐酸性に優れ、光透過性が高いこと等から半導体製造工程や光学、エネルギーなど幅広い分野で使用されています。
  こちらは半導体製造の後工程で使用される装置の部品で、両面鏡面加工を施しています。

• 

  タングステンロープ　先端溶融

  タングステンφ0.05の撚線ロープの溶断、溶融

• 

  モリブデン　精密穴加工

  半導体装置、イオン注入装置、光学系部品等で使用されます。

• 

  モリブデン　マシニング加工

  t12mmのモリブ板の段加工にM8のタップ加工。半導体装置、イオン注入装置、大型炉の部品等で使用されます。当社では材料調達から対応致します。

• 

  タングステン重合金　複合加工

  半導体装置、イオン注入装置、大型炉の部品等で使用されます。当社では材料調達から対応致します。

• 

  電子銃フィラメント

  フィラメント製造から電子銃のベースの組立てまで一貫して承っています。

• 

  撚り線バスケットコイル

  撚り線にする事によって、流せる電流が大きくでき、強度も上がります。

• 

  マグネトロンコイル

  ヒーター用の極太コイル。
  マグネトロンやヒーターに使用されています。